オンサイト供給

ガスの種類、使用量によって低温分離発生装置、膜式発生装置、吸着式発生装置があります。

例えば、半導体産業など超高純度窒素ガスを使用するお客様には小型の空気分離装置を設置し、純度99.999999%(実績値)の窒素ガスを直接供給することもできます。これまでに多くの設置実績があります。また、最新技術を駆使し、環境に配慮した省エネルギー設計の最新鋭プラントを導入しています。

FLOXAL™は、継続的に安定流量で比較的少ない量のガスを必要とするお客様向けに、酸素、窒素または水素の供給を行います。装置の運転・管理からガス供給の保守・点検、バックアップまでを備え、効率的で信頼性の高い方法で安定供給を実現します。